Intelligentes Prüfkartensystem für den Test von Halbleiterwafern


























Zudem werden die Möglichkeiten der Produktions-plattform PRONTO für die gemeinsame Entwicklung und Fertigung neuartiger Komponenten für Prüfkarten entwickelt, genutzt und demonstriert. Die enge Kooperation der Partner (Wissenschaftseinrichtung, KMUs und international tätige Unternehmen) dienen der Integration und Zusammenarbeit im Cluster und stärken die Partnerschaften.
Ziel des Verbundprojekts µ-Probe ist die Entwicklung und Erprobung eines neuartigen intelligenten Prüfkartensystems für den Test von Halbleiterwafern.

Kernelement der Prüfkarte ist eine waferseitige Führungsplatte, die hochgenaue Mikrobohrungen in einer prüflingsspezifischen Anordnung enthält. Diese Bohrungen müssen in der benötigten Genauigkeit sehr reproduzierbar hergestellt werden, um kleinere Padabstände und damit eine höhere Nadeldichte zu erreichen. Des Weiteren sollen Maßnahmen zur aktiven Temperaturregelung von Prüfkarten-Baugruppen entwickelt und charakterisiert werden, um die negativen Effekte des Temperatureintrags in die Prüfkarte auf den Prüfprozess zu verringern. Dies ist insbesondere beim Übergang auf neuartige Kontaktierverfahren wichtig, da diese wegen ihrer geringeren Abmaße weniger Toleranz gegenüber äußeren Positionsänderungen aufweisen werden. Zur Verifikation des Gesamtsystems werden Prototypen angefertigt und unter realen Anwendungsbedingungen getestet.


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